名词解析

横向扩散

正确答案

由于光刻胶无法承受高温过程,扩散的掩膜都是二氧化硅或氮化硅。当原子扩散进入硅片,它们向各个方向运动:向硅的内部,横向和重新离开硅片。假如杂质原子沿硅片表面方向迁移,就发生了横向扩散。

答案解析

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  • 热扩散中的横向扩散通常是纵向结深的75%~85%。先进的MOS电路不希望发生横向扩散,因为它会导致沟道长度的减小,影响器件的集成度和性能。

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  • 砌体局部受压强度较普通受压强度有所提高。这是由于砌体局部受压时未直接受压的外围砌体对直接受压的内部砌体的横向变形具有(),同时力的扩散作用也是提高砌体局部受压强度的重要原因。

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