半导体芯片制造工艺对气体有什么要求？

半导体芯片制造工艺中经常使用氧、氩、氢、氮等气体，由于这些气体的微粒杂质和水汽对半导体芯片的性能、质量、成品率有极大的影响，因此对这些气体的纯度要求较高。下表列出了对这些气体的具体要求。
半导体工艺中所需的气体及纯度要求：


大规模集成电路对气体纯度的要求：

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