简答题

硅谐振式传感器是怎样工作的?

正确答案

硅谐振式传感器利用在一块单晶硅芯片上一个在硅片中央,一个在硅片边缘的两个H型谐振梁在被测压力作用下,一个受压,一个受拉,使其原固有谐振频率发生不同的变化,利用测量两个谐振梁的频率差来得到被测压力的大小。

答案解析

相似试题
  • 光电式速度传感器的工作原理是通过()接受发光二极管的发射光源,以接受光源为1,隔断光源为0来进行计数的。

    单选题查看答案

  • 霍尔式速度传感器测量为0的原因是()。

    单选题查看答案

  • 压电式压力传感器的核心部件是(),它既是(),又是()。

    填空题查看答案

  • 大鹤管用于检测槽车内液位的是光纤式液位传感器。

    判断题查看答案

  • 光电式速度传感器测量为0的原因,可能是发光二极管损坏。

    判断题查看答案

  • 光电式速度传感器测量为0的原因,可能是发光三极管损坏。

    判断题查看答案

  • 光电式速度传感器的结构不包括()。

    单选题查看答案

  • 电涡流式速度传感器的结构不包括()。

    单选题查看答案

  • 霍尔式速度传感器测量不准的原因不包括()。

    单选题查看答案