电容式传感器中，灵敏度最高的是（）。

电容式传感器有（）、（）和（）3种类型，其中（）型的灵敏度最高。

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变间隙式电容传感器中，提高灵敏度和减少非线性误差是矛盾的，为此，实际中大都采用（）式电容传感器。

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变间隙式电容传感器中，提高灵敏度和减少非线性误差是矛盾的，为此实际中大都采用（）式电容传感器.

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空气介质变隙式电容传感器中，提高灵敏度和减少非线性误差是矛盾的，为此实际中大都采用（）式电容传感器。

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极距变化型电容式传感器，其灵敏度与极距（）

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变极距型电容式传感器，其灵敏度与极距（）

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变间距式电容传感器的灵敏度与（）成反比，所以适合于微小位移的测量.变面积式电容传感器的灵敏度与（）成反比，所以不适合微小位移的测量.

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电感式和电容式传感器常采用（）结构来提高其灵敏度，改善非线性误差。

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电容式接近开关对（）的灵敏度最高。

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