名词解析

驻波效应

正确答案

光线照射到光刻胶与晶圆的界面上会产生部分反射。反射光与入射光会叠加形成驻波,形成驻波效应。驻波效应影响光刻分辨率。后烘烤后会部分消除驻波效应。

答案解析

相似试题
  • 什么是光敏度,移相掩膜,驻波效应?

    简答题查看答案

  • 1800的载波出现驻波告警时,用驻波测试仪测试馈线时;频率扫描范围要设置为()。

    单选题查看答案

  • 900的载波出现驻波告警时,用驻波测试仪测试馈线时;频率扫描范围要设置为()。

    单选题查看答案

  • WCDMA的载波出现驻波告警时,用驻波测试仪测试馈线时;频率扫描范围要设置为()较好。

    单选题查看答案

  • 轮胎的驻波现象

    名词解析查看答案

  • 光在光纤内形成驻波的光线组称为()

    填空题查看答案

  • 简述港湾驻波?

    简答题查看答案

  • 驻波现象

    名词解析查看答案

  • 驻波系数

    名词解析查看答案