A恒定总掺杂剂量
B不恒定总掺杂剂量
C恒定杂志浓度
D不恒定杂志浓度
恒定表面浓度的条件下,在整个扩散期间,()保持恒定表面浓度。
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扩散工艺使杂质由半导体晶片表面向内部扩散,改变了晶片(),所以晶片才能被人们所使用。
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扩散炉中的管道一般都是用()制作。
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在热扩散工艺中的预淀积步骤中,硼在900~1050℃的条件下,扩散时间大约()为宜。
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在热扩散工艺中的预淀积步骤中,硼在950~1100℃的条件下,扩散时间大约()为宜。
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在空位扩散中,如果迁移到空位的原子是基质原子,扩散属于()。
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在空位扩散中,如果迁移的空位的原子是杂质原子,扩散称为()。
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下列可作为磷扩散源的是()。
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扩散工艺现在广泛应用于制作()。
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