经过精加工，可以使预加工表面粗糙度为Ra0.4μm的工件，达到Ra0.012μm左右。

低表面粗糙度磨削的三个级别；加工表面粗糙度值为Ra（）的磨削称为精密磨削；加工表面粗糙度为Ra（）的磨削称为超精密磨削；加工表面粗糙度值低于Ra（）的磨削称为镜面磨削。

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高精度磨削加工中，使工件表面粗糙度值低于Ra（）的磨削称为低表面粗糙度磨削。

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为了减低加工残留面积高度，以便减小表面粗糙度值，（）对其影响最大。

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超精加工时，工件速度提高，会使切削作用减弱，生产效率降低，但可细化表面粗糙度。

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超精加工时纵向进给量越大，生产率越高，但不利于细化工件表面粗糙度。

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磨削加工能获得极高的加工精度和极小的表面粗糙度值。磨削精度可达到（），表面粗糙度可达到（），如镜面磨削工件表面粗糙度可达到（）。

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超硬磨料磨具的粒度主要是按加工表面粗糙度选择。（质量控制）

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油石的压力越小，超精加工的工件表面粗糙就越细。

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超精加工时，当油石频率不变、工件转速快时，就会出现余弦波网纹痕迹，表面粗糙度变细。

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