简答题

有一台变间隙非接触式电容测微仪,其传感器的极板半径r=4mm,假设与被测工件的初始间隙d0=0.3mm。试求:如果传感器与工件的间隙变化量△d=±10μm,电容变化量为多少?   

正确答案

由,则当Δd=±10um时
如果考虑d1=0.3mm+10μm与d2=0.3mm﹣10μm之间的电容变化量ΔC′
则应为ΔC′=2
ΔC
=2×0.049=0.098pF

答案解析

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