简答题

硅片关键尺寸测量的主要工具是什么?

正确答案

硅片关键尺寸测量的主要工具是扫描电子显微镜(SEM),它能放大10万到30万倍,这明显高于光学显微镜,用扫描电子显微镜观测硅片的横截面部分能提供缺陷的信息,常与其他分析技术结合使用,如EDX或FIB。

答案解析

相似试题
  • 什么是外延层?为什么在硅片上使用外延层?

    简答题查看答案

  • 什么是外延层?为什么硅片上要使用外延层?

    简答题查看答案

  • 什么是硅片的自然氧化层?由自然氧化层引起的三种问题是什么?

    简答题查看答案

  • 正确的框图简要说明硅片制备主要工艺流程是()

    单选题查看答案

  • 在硅片制造中光刻胶的两种目的是什么?

    简答题查看答案

  • 硅片制备主要工艺流程是()

    单选题查看答案

  • 什么是硅化物?难熔金属硅化物在硅片制造业中重要的原因是什么?

    简答题查看答案

  • 确定椅子各主要结构参数时分别以人体哪部位尺寸为依据?各种尺寸的百分位选取原则是什么?

    简答题查看答案

  • 人体测量的内容主要有哪几个方面?在室内设计中应用最多的人体构造尺寸有哪些?

    简答题查看答案