微细加工中的三束加工是指（），（），（）。

通常所说的“三束加工”（高能束）是指（）和（）

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微细加工技术中的刻蚀工艺可分为下列哪两种（）。

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电火花成型加工适宜加工低刚度工件及微细加工。

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微细加工工艺方法主要有：（），光刻加工，体刻蚀加工技术，面刻蚀加工技术，LIGA技术，（）和（）。

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微细加工工艺方法

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简述微细加工工艺方法。

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微型机械的特点有哪些？微细加工与一般尺寸加工是不同点在哪几个方面？

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用半导体的微细加工技术，在非晶基片上通过使用微细的表面结构，考察了单晶成长方法，并命名为（）

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8月采收的三七称冬三七，产量低，品质稍差，加工后的三七，质轻、不饱满，皱纹多。

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