简答题

背散射电子像有什么特点?背散射电子像的用途?

正确答案

(1)背散射电子能量高,接近入射电子E0;试样中产生范围大,像分辨率低。
(2)背散射电子发射系数η:
η=IB/I0
IB背散射电子强度;I0——入射电子强度。
背散射电子发射系数η随原子序数增加而增大;但背散射电子发射系数η受入射束能量影响不大;当试样表面倾角增加时,将显著增加背散射电子发射系数η;
利用背散射电子像来研究样品表面形貌和成分分布。

答案解析

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