简答题

非晶硅的制作原理及特点？

正确答案

制作原理是：在较低温度下（约600℃）析出硅膜，在此过程中，充入大量的氢原子，破坏了硅晶体中原子排列的周期性，从而改变了硅材料的性质，其特性表现在：
（1）有效带隙增大，约1.6eV左右（Si晶体为1.12eV）；
（2）类似于直接带隙材料，吸收系数比Si大得多，厚度通常在um左右；
（3）可以使用几乎所有的衬底材料，具有良好的使用灵活性。

答案解析

略

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