离子束加工为什么能实现纳米级加工？

离子束可以通过离子光学系统进行聚焦扫描，共聚焦光班可达1μm以内，因而可以精确控制尺寸范围。离子束轰击材料是逐层去除原子，所以离子刻蚀可以达到毫微米（0.001μm）级的加工精度。离子镀膜可以控制在亚微米级的精度，离子注入的深度和溶度也可以精确地控制。

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