简答题

扫描电镜的分辨率受哪些因素影响?用不同的信号成像时,其分辨率有何不同?所谓扫描电镜的分辨率是指用何种信号成像时的分辨率?

正确答案

影响因素:电子束束斑大小,检测信号类型,检测部位原子序数.SE和HE信号的分辨率最高,BE其次,X射线的最低.扫描电镜的分辨率是指用SE和HE信号成像时的分辨率.

答案解析

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