简答题

TEM与SEM有何异同点?

正确答案

TEM是透射电子显微镜的英文缩写,而SEM是扫描电子显微镜的英文缩写。它们都是分析高速电子流与样品作用之后的有关信息。由于收取的信息不同,观测的结果也就有较大差异。TEM观察的是样品透射和衍射电子的信息,因此它主要用于研究样品的形貌、晶体缺陷及超显微结构等特征,也可以测定晶体的结构参数和进行晶体的定向。TEM具有很高的分辨率(达0.1nm)和放大倍数(100~200万倍)。SEM主要利用二次电子进行高分辨的表面微形貌观察。其分辨率高(可达5nm),放大倍数为10~30万倍。如果它们配上能谱仪,均能够进行定性或半定量的成分分析。

答案解析