简答题

影响化学气相沉积制备材料质量有哪几个主要因素?

正确答案

(1)反应混合物。
(2)沉积温度。
(3)衬底材料。
(4)系统内总压和气体总流速。
(5)反应系统装置的因素。
(6)源材料的纯度。

答案解析

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