简答题

简述什么是硅化物及其作用。

正确答案

硅化物是在高温下难熔金属(通常是钛Ti、钴Co)与硅反应形成的金属化合物(如TiSi2、CoSi2)。
其作用:①降低器件寄生电阻;②降低接触电阻;③作为金属与硅之间的粘合剂。

答案解析

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