A碱性
B酸性
C中性
衬底清洗过程包括哪几个步骤？
简答题查看答案
化学清洗中是利用硝酸的强（）和强（）将吸附在硅片表面的杂质除去。
填空题查看答案
硅片减薄腐蚀液为氢氟酸和硝酸系腐蚀液。砷化镓片用（）系、氢氧化氨系蚀腐蚀液。
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