电机电流终点检测不适合用作层间介质的化学机械平坦化。
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球化退火是把（）加热到Acl+10～20℃长时间保温后缓冷的一种操作工艺。
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传感器的分辨力是指传感器能检测到的最小输入增量，阈值是指在传感器输入终点附近的分辨力。
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汽车综合性能检测站把各检测项目及设备按几个组合工位进行排列的工艺布局方式称为（）。
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反刻是一种传统的平坦化技术，它能够实现全局平坦化。
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化学机械平坦化，简称CMP，它是一种表面全局平坦化技术。
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仿真是对电路设计的一种（）检测方法．
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在CMP设备中被广泛采用的终点检测方法是光学干涉终点检测。
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（）和（）都是描述光电检测器光电转换能力的一种物理量。
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