离子源腔体中的气体放电形成（）而引出正离子的。

离子束的引出系统的间接引出系统中，阳极和插入电极之间形成一个离子密度较（）的等离子体。

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离子源的作用是使所需要的杂质原子电离成（）离子，并通过一个引出系统形成离子束。

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在各种离子源常用的放电方式中，EOS是指有（）。

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离子源的基本结构是由产生高密度等离子体的（）和引出部分组成。

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离子注入的主要气体源中，剧毒的有（）。

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离子注入的主要气体源中，易燃、易爆的有（）。

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（）是与气体辉光放电现象密切想关的一种薄膜淀积技术。

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（）的气体源中一般包含H+，C+，B+，Cl+，O+等离子。

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解决氧化层中的钠离子沾污的方法有（）。

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