互感式位移传感器是将被测位移量的变化转换成互感系数的变化，又将其称为（）位移传感器。

参量位移传感器的工作原理是将被测物理量转化为（）。

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压电式位移传感器的基本工作原理是将位移量转换为力的变化，然后利用（）将力的变化转换为电信号。

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电涡流式位移传感器，是利用电涡流效应将被测量变换为线圈（）变化的一种测量装置。

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发电型（能量转换型）传感器是将被测非电量直接转换为（）的传感器，如（）、（）传感器。

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（）传感器先通过金属弹性元件将压力转换为位移，再通过位移传感器转换为电参数的变化。

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若电容式位移传感器中绝缘材料的绝缘性能不佳，绝缘电阻会随环境温度和湿度而变化，还会使电容位移传感器的输出产生缓慢的（）。

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1.将被测压力转换为电量的有（）传感器。 

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差动变压器式位移传感器属于（）

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简述磁栅式位移传感器的工作原理与特点。

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