简答题

感光胶分为正性胶和负性胶，简述它们是如何定义。

正确答案

（1）负性胶这种胶在曝光前对某些有机溶剂是可溶的，曝光后发生光聚合反应，不溶于有机溶剂。当用它进行光刻时，在衬底表面将得到与光刻掩模版遮光图案完全相反的图形，故称之为负性胶。
（2）正性胶这种胶在曝光前对某些有机溶剂是不可溶的，而曝光后却变成可溶的，使用它进行光刻时，在衬底表面将得到与光刻掩模版遮光图案完全相同的图形，故称之为正性胶。

答案解析

略

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