简答题

简述能谱分析和波谱分析的异同。

正确答案

(1)同:检测特征X射线的波长和强度是由X射线谱仪(波谱仪或能谱仪)来完成的。
(2)异:
1.波长分散谱仪入射电子束激发样品产生的特征X射线是多波长的。波谱仪利用某些晶体对X射线的衍射作用来达到使不同波长分散的目的。X射线光子能量展谱的。
2.探测效率:EDS远远大于WDS;
3.分辨率:EDS谱峰易重叠,谱峰宽,数据处理方法复杂;
4.分析速度:EDS快,WDS慢;
5.分析能力:WDS分析元素范围广,Be-U,探测极限小,EDS可分析Na-U,探测极限不如WDS。

答案解析