简答题

简述能谱分析和波谱分析的异同。

正确答案

（1）同：检测特征X射线的波长和强度是由X射线谱仪（波谱仪或能谱仪）来完成的。
（2）异：
1.波长分散谱仪入射电子束激发样品产生的特征X射线是多波长的。波谱仪利用某些晶体对X射线的衍射作用来达到使不同波长分散的目的。X射线光子能量展谱的。
2.探测效率：EDS远远大于WDS；
3.分辨率：EDS谱峰易重叠，谱峰宽，数据处理方法复杂；
4.分析速度：EDS快，WDS慢；
5.分析能力：WDS分析元素范围广，Be-U，探测极限小，EDS可分析Na-U，探测极限不如WDS。

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略

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