简答题
什么是电子探针显微分析？电子探针显微分析原理是什么？可对材料进行哪些分析测试？
正确答案
（1）电子探针X射线显微分析是一种显微分析和成分分析相结合的微区分析。
（2）用聚焦电子束（电子探测针）照射在试样表面待测的微小区域上，激发试样中诸元素的不同波长（或能量）的特征X射线。用X射线谱仪探测这些X射线，得到X射线谱。根据特征X射线的波谱（或能量）进行元素定性分析；根据特征X射线的强度进行元素的定量分析。
（3）电子探针可适用于分析试样中的微小区域的化学成分，是研究材料组织结构和元素分布状态的极为有用的分析方法。