怎样校正溅镀机PA？

当溅镀机PA取片不好或发现盘片在PA处有划伤时，就要校正PA。
（1）将溅镀机与传送梁连接的螺栓松开，SA升起，PA在0°或180°位置UP位置，关掉压缩空气，加上校正工具，检查PA在传送梁上的位置是否正确。如果不正确，用手锤轻轻撞动溅镀机达到位置，然后紧固。
（2）拆下校正工具，给上压缩空气，手动吸真空，但取片是否正常，如果PA过高、过低时，关掉真空泵、压缩空气，松开螺栓，将溅镀机地脚升起或落下。
（3）重复1、2步骤，直到PA在传送梁上取片正常，PA位置正确位置。

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