简答题

怎样校正溅镀机PA?

正确答案

当溅镀机PA取片不好或发现盘片在PA处有划伤时,就要校正PA。
(1)将溅镀机与传送梁连接的螺栓松开,SA升起,PA在0°或180°位置UP位置,关掉压缩空气,加上校正工具,检查PA在传送梁上的位置是否正确。如果不正确,用手锤轻轻撞动溅镀机达到位置,然后紧固。
(2)拆下校正工具,给上压缩空气,手动吸真空,但取片是否正常,如果PA过高、过低时,关掉真空泵、压缩空气,松开螺栓,将溅镀机地脚升起或落下。
(3)重复1、2步骤,直到PA在传送梁上取片正常,PA位置正确位置。

答案解析

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