液相外延的原理是饱和溶液随着温度的降低产生过饱和结晶。（）

叙述H2还原SiCl4外延的原理，写出化学方程式。

简答题查看答案

什么是固相外延（SPE）及固相外延中存在的问题？

简答题查看答案

简述外延薄膜的生长过程，其最显著的特征是什么？

简答题查看答案

影响外延薄膜的生长速度的因素有哪些？

简答题查看答案

硅外延片的应用包括（）。

多选题查看答案

外延生长方法比较多，其中主要的有（）外延、（）外延、金属有机化学气相外延、分子束外延、（）、固相外延等。

填空题查看答案

延生长方法比较多，其中主要的有（）外延、（）外延、金属有机化学气相外延、（）外延、原子束外延、固相外延等。

填空题查看答案

什么是扩散效应？什么是自掺杂效应？这两个效应使得衬底/外延界面杂质分布有怎样的变化？

简答题查看答案

硅外延生长工艺包括（）。

多选题查看答案