简答题

简述X-射线能谱(EDS)的定义及提高分辨率的方法。

正确答案

X-射线光谱:确定化学元素当前形式,利用物质特征的X-射线指纹。
提高分辨率的方法:
1)通过使用不同种类的细丝来减小光斑尺寸;
2)使用最合适的加速电压;更高的电压产生短波长电子,具有更高的分辨率,但是也会增加电子体积/样本相互作用,导致较低分辨率;
3)改变倾斜角度;
4)使用高电流电子束;
5)缩短工作距离;
6)使用二次电子图像,作为最合适的分辨率是:SE是5nm,BSE是25nm,X-射线图谱是2um;
7)较长的曝光时间,使得更多的电子束可以被检测。

答案解析

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