简答题

光刻中采用步进扫描技术获得了什么好处?

正确答案

增大了曝光场,可以获得较大的芯片尺寸,一次曝光可以多曝光些芯片,它还具有在整个扫描过程调节聚焦的能力。

答案解析

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