简答题

简述薄膜形核的过程和长大的过程。

正确答案

形核:一般是气相原子在基底的表面聚集而成,包括吸附、凝结、临界核形成、稳定核形成等过程。入射到基体表面的气相原子被悬挂键吸引住,发生物理吸附或化学吸附,表面能降低,吸附后的原子仍可发生解吸。吸附的原子不能在基底表面稳定存在,自发形成固态的薄膜。吸附后的原子在基体表面具有水平方向的动能,使其在不同方向上进行扩散,单个原子间通过相互碰撞,凝结成原子对和更大的原子团。在满足一定热力学条件下,先生成临界核,在此基础上加一个原子就可变为稳定核。
长大:指形成稳定核后薄膜的形成过程,一般经历岛状、连并、沟道、连续膜四个阶段。分散在基底表面的大量晶核长大,直至相互接触并逐渐布满整个基底表面形成连续薄膜。

答案解析

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