多选题

材料蒸发时,充氧的主要目的有哪些?()

A补充材料失去的氧原子,使材料氧化更充分,降低膜层吸收

B使每次镀膜时,真空室内的真空状态相接近

C使蒸发更稳定

D使控制更精确

正确答案

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答案解析