简答题

什么是薄膜?例举并描述可接受的薄膜的8个特性。

正确答案

薄膜:指某一维尺寸远小于另外两维上的尺寸的固体物质。
好的台阶覆盖能力、高的深宽比填隙能力(>3:1)
厚度均匀(避免针孔、缺陷)、高纯度和高密度、受控的化学剂量
结构完整和低应力、好的粘附性(避免分层、开裂致漏电)

答案解析

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