简述AFM的原理、工作原理及与STM的比较。

1.原理：利用微悬臂感受和放大悬臂上尖细探针与受测样品原子之间的作用力，从而达到检测的目的，具有原子级的分辨率。由于原子力显微镜既可以观察导体，也可以观察非导体，从而弥补了扫描隧道显微镜的不足。
2.工作原理：针尖附着在悬臂上面，通过悬臂上下移动反应出与样品表面的引力与斥力，而悬壁的移动由激光和光电检测器检测。
3.与STM比较：由于STM是一个原子与表面的相互作用，而AFM是许多原子之间的相互作用，没有定阈的作用力，所以STM的分辨率要大于AFM。

略