多选题

在碱性氯化铜蚀刻中,造成蚀刻过度的原因可能有()。

A传送速度太慢

BpH值过高

C蚀刻液比重偏低

D蚀刻液温度不足

正确答案

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答案解析

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  • 在碱性氯化铜蚀刻中,造成蚀刻不足的原因可能有()。

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  • 不适宜在碱性氯化铜蚀刻液中蚀刻的抗蚀层是()。

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  • 碱性氯化铜蚀刻液一定可用于下列何种抗蚀层()。

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  • 碱性氯化铜蚀刻液中氯化铵浓度偏低时,蚀刻速率慢,溶液稳定性差。

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  • 碱性氯化铜蚀刻液是目前应用最广的图形蚀刻溶液。

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  • 在酸碱性氯化铜蚀刻液中都是含铜量越多越好。

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  • 碱性氯化铜蚀刻液pH值过低,氮水浓度太低,蚀刻速率变慢。

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  • 下列为碱性氯化铜蚀刻液特点的有()。

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  • 碱性蚀刻中蚀刻不足可能是喷淋压力不足造成,其解决方式为()。

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