干燥设备的（）应设有过滤装置，出风口应有防止空气（）装置。

干燥设备进风口应有过滤装置，出风口有防止空气倒灌装置。

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与药物直接接触的干燥空气、压缩空气、惰性气体等应设置净化装置，经净化处理后，气体所含微粒和微生物应符合规定的（）要求；应定期检查除菌过滤器和空气呼吸器的（）。

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流化态制粒、干燥、气流输送、起模、泛丸、包衣等工衣设备所用空气均应净化，尾气应除尘后排空，出风口应的装置是（）

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与药物直接接触的干燥用空气、压缩空气、惰性气体及蒸汽等均应设置净化装置。

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对生产中发尘量大的设备，宜局部加设（）和捕尘、（），尾气排放宜设气体过滤和防止（）倒灌的装置。

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药液过滤时，不得使用可能（）和释放异物的过滤装置，严禁使用（）的过滤器。

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安瓶超声波洗瓶机的压缩空气终端过滤装置滤芯的过滤精度为（）。

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对过滤灭菌，应在什么时候检查装置及滤膜的完整性（）。

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简述冷冻干燥的原理并说明冷冻干燥机有哪些主要单元装置组成。

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