在中国逐渐沦陷为半殖民地半封建社会得深渊的进程中，下列史实发生的先后顺序是（）①清政府完全成为洋人统治中国的工具②外国商人在通商口岸设立工厂③库页岛被俄国割占④中国的关税自主权遭到破坏