A具有在极高放大倍率下直接观察试样的形貌、晶体结构和化学成分
B为一种微区分析方法,具有很高的分辨率,成像分辨率达到0.2~0.3nm(TEM),可直接分辨原子,能进行纳米尺度的晶体结构及化学组成分析
C各种仪器日益向多功能、综合性方向发展
D操作复杂
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