简述化学气相沉积工艺过程的要点。

1、涂层的形成是通过气相的化学反应完成的
2、涂层的形核和长大是在基体的表面上进行的
3、所有涂层的反应均为吸热反应，所需热量靠辐射或感应加热供给

略