当旋涂机接片手往冷却梁输入arm 1手放片不正时,应如何调整?
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当旋涂线突然报警“压缩空气低时应检查什么?
当旋涂第二机械手不取片应检查什么?
旋涂机手臂不动作如何处理?
旋涂机手臂抓不住盘片如何处理?
后段P12或P13放碟错误,但实际有碟片,此种情况如何处理?
如何调整旋涂中心孔染料点、旋涂射线和旋涂不圆?
旋涂碗不转,如何处理?
旋涂不下料应查看什么?
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