子束入射固体样品表面会激发哪些信号？它们有哪些特点和用途？

主要有六种：
1）背散射电子：能量高；来自样品表面几百nm深度范围；其产额随原子序数增大而增多.用作形貌分析、成分分析以及结构分析。
2）二次电子：能量较低；来自表层5—10nm深度范围；对样品表面化状态十分敏感。不能进行成分分析.主要用于分析样品表面形貌。
3）吸收电子：其衬度恰好和SE或BE信号调制图像衬度相反；与背散射电子的衬度互补。吸收电子能产生原子序数衬度，即可用来进行定性的微区成分分析.
4）透射电子：透射电子信号由微区的厚度、成分和晶体结构决定.可进行微区成分分析。
5）特征X射线：用特征值进行成分分析，来自样品较深的区域
6）俄歇电子：各元素的俄歇电子能量值很低；来自样品表面1—2nm范围。它适合做表面分析。

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