超精密加工对机床的基本要求是：（）、高刚度、（）、高自动化。

实现超精密加工的关键是（），对刀具性能的要求是：（）、（）、刀刃无缺陷、与工件材料的抗粘接性好，摩擦系数低。

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简述超精密加工对机床微量进给装置性能的要求。

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精密和超精密加工机床主轴轴承的常用形式有（）和（）。

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超精密加工机床中主轴部件结构应用最广泛的是：（）

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超精密加工机床中主轴部件结构应用最广泛的是：（）

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相比较普通机床，超精密加工机床的主轴部件和进给系统有何具体的特点？

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精密加工对微量进给装置的性能要求是什么？。

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机床的基本要求是：（1）工艺范围；（2）加工精度和表面粗糙度；（3）（）；（4）噪声和效率；（5）人机关系（又称宜人性）。

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超精密加工机床中采用的T形总体布局为：主轴作Z向运动，进给系统作X向运动，因而主轴的驱动方式是（）

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