旋转阀离座，循环泵共吸阀打开以后，吸附室底控制器PIC-6003应处自动还是手动？

旋转阀离座，循环泵共吸阀打开以后，吸附室底控制器PIC-6003应处自动，用抽余液控制吸附室压力，使吸附室压力不小于0.88MPa。

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