简述各种微位移机构和器件的性能、特点及其应用场合。

1）机械类微位移机构
这类微位移机构主要是利用一些巧妙的机械结构来实现微位移，典型的结构有凸轮、斜面、精密丝杠螺母副等。其共同的特点是精度不能太高、结构复杂、制造技术难度大，但性能比较稳定、价格便宜、使用方便。应用十分广泛。
2）液压类微位移机构
这类微位移机构多采用液压为动力、弹性膜片为弹性变形元件实现微位移，因此是—种机械液压复合式的微位移机构。由于它需要一套液压装置，因此多用于一些已具有液压系统的设备中，如液压机床、静压主轴等。在薄膜反馈的静压轴承中，薄膜的微位移就是这类微位移机构的典型实例。
3）电动类策位移机构
这类微位移机构实际上是机电结合来实现微位移的，它又可分为电热、电磁、机电耦合效应（电致伸缩、压电效应）等多种。

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