简答题

气相法可分为哪些?

正确答案

(1)物理气相沉积,用物理凝聚的方法将多晶原料经过气相转化为单晶体,如升华-凝结法、分子束外延法和阴极溅射法;
(2)化学气相沉积,通过化学过程将多晶原料经过气相转化为单晶体,如化学传输法、气体分解法、气体合成法和MOCVD法等。

答案解析

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