手动关机时，关闭扩散泵加热，等冷却50分钟后，需先关闭MV阀、再关罗茨泵和机械泵。
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换电之后扩散泵要重新预热50分钟后才能升高阀.
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每次开机前都需要对镀膜机进行全面检查，但换电时例外。
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在使用扩散泵应注意哪些事项？
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油扩散泵上面加冷阱，其作用是（）。
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刚开机时为什么要预热扩散泵油？在什么情况下扩散泵油会被氧化？
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关扩散泵后等待30分钟就可以关掉设备总电源。
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扩散泵油被氧化后，仍然可以使用一段时间。
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手动开机时，打开扩散泵（DP）加热开关前先需把MV阀打开，否则会影响扩散泵抽速。
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