简答题

简述光刻工艺的8个基本步骤。

正确答案

①气相成底膜;
②旋转涂胶;
③软烘;
④对准和曝光;
⑤曝光后烘培(PEB);
⑥显影;
⑦坚膜烘培;
⑧显影检查。

答案解析

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