列出光刻的8个步骤,并对每一步做出简要解释。
简答题查看答案
在集成电路制造工艺步骤中,光刻与刻蚀能把掩膜版上的图形转移到硅片上来。
判断题查看答案
什么是光刻加工技术?试简述光刻加工的原理和工艺流程。
光刻加工技术的基本过程通常包括哪些步骤?
简述硅栅p阱CMOS的光刻步骤。
光刻包括两种基本的工艺类型:负性光刻和(),两者的主要区别是所用光刻胶的种类不同,前者是(),后者是()。
填空题查看答案
晶圆的英文是什么?简述晶圆制备的九个工艺步骤。
最早应用在半导体光刻工艺中的光刻胶是正性光刻胶。
光刻工艺包括哪些工艺?
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