多选题

以下哪些工艺应用的原子扩散的理论()

A渗氮

B渗碳

C硅晶片掺杂

D提拉单晶硅

正确答案

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答案解析

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  • 化学热处理的基本过程,均由以下三个阶段组成,即(),(),活性原子继续向工件内部扩散。

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