CZ直拉法是按照在20世纪90年代初期它的发明者的名字来命名的。

20世纪90年代初期使用的第一台CMP设备是用样片估计抛光时间来进行终点检测的。

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CZ直拉法的目的是（）。

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影响CZ直拉法的两个主要参数是（）和（）。

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85%以上的单晶硅是采用CZ直拉法生长出来的。

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CZ直拉法生长单晶硅是把（）变为（）并且（）的固体硅锭。

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区熔法是20世纪50年代发展起来的，能生产到目前为止最纯的硅单晶，含氧量非常少。

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硅锭直径从20世纪50年代初期的不到25mm增加到现在的300mm甚至更大，其原因是什么？

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从20世纪60年代末到90年代中，国际上已研制过的采矿系统，可以归纳为（）。

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从20世纪60年代末到90年代中，国际上已经研制过的采矿系统不包括哪种？（）

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