如图所示为二自由度机械手，已知各杆长度分别为d₁，d₂。进行机器人运动学分析的步骤有那些？结合如图所示的二自由度机械手，通过建立坐标系及坐标变换矩阵⁰T₁，¹T₂等，求出机械手末端O₃点的位置和速度方程。