设备、试剂、气瓶等所有物品不需经严格清洁处理，可直接进入净化区。（）

干法腐蚀清洁、干净、无脱胶现象、图形精度和分辨率高。（）

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单相3线插座接线有严格规定（）

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简述RTP设备的工作原理，相对于传统高温炉管它有什么优势？

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在半导体工艺中，硫酸常用于去除（）和配制（）等。

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光刻工艺一般都要经过涂胶、（）、曝光、（）、坚膜、腐蚀、（）等步骤。

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目前在半自动化和自动化的键合机上用的金丝或硅铝丝都是经生产厂家严格处理包装后销售，一般不能再退火，一经退火反而坏了性能。（）

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钎焊包括合金烧结、共晶焊；聚合物焊又可分为（）、（）等。

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按蒸发源加热方法的不同，真空蒸发工艺可分为：（）蒸发、（）蒸发、离子束蒸发等。

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半导体集成电路生产中，元件之间隔离有（）（）（）隔离等三种基本方法.

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