集成电路制造工艺员
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集成电路制造工艺员
多选题
静电释放带来的问题有哪些()。
A
金属电迁移
B
金属尖刺现象
C
芯片产生超过1A的峰值电流
D
栅氧化层击穿
E
吸引带电颗粒或极化并吸引中性颗粒到硅片表面
正确答案
答案解析
略
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